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dph-25d

产品优势

产品迭代更新
装机总量超过700台

产品优势

100%自产子系统模块
经过大规模市场验证
成熟可靠

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经过大规模市场验证
成熟可靠

设备参数
产品特色 双台面高解析
最大基板尺寸 630mmx730mm(有效曝光尺寸623mmx730mm)
最小基板尺寸 250mmx250mm(单机),300mmx300mm(自动线)
基板厚度 0.05mm~5mm(单机),0.1mm~3.5mm(自动线)
工艺解析l/s 25µm/25µm
线宽精度 ±10%
景深 ±300µm
层间对位精准度 20µm
外层对位准精度 ±10µm
曝光时间(623mmx680mm&四点对位,不含上下板) 8.5秒/面@50mj/cm2
生产效率(623mmx680mm&四点对位) 7面/分钟@50mj/cm2
光源功率 24w(可选48w)
单机台面数量 上下交互双台面
内层线路模组 内外层通用
单机设备重量 5000kg
单机外形尺寸 3150mmx1700mmx1950mm
自动线外形尺寸 6380mmx3460mmx2455mm(不含收放板机)
工作高度(输送高度) 1030±20mm
设备参数

产品特色

hdi 50/50

最大基板尺寸

630mm×730mm(有效曝光尺寸623mm×730mm)

最小基板尺寸

250mm×250mm(单机),300mm×300mm(自动线)

基板厚度

0.05mm~5mm(单机),0.075mm~3.5mm(自动线)

工艺解析(l/s)

25μm/25μm

线宽精度

±10%

景深

±200μm

层间对位精准度

20μm

外层对位准精度

±10μm

曝光时间(623mm×460mm&四点对位,不含上下板)

8.5秒/面@30mj/cm2

生产效率(623mm×460mm&四点对位)

7面/分钟@30mj/cm2

光源功率

12w

单机台面数量

上下交互双台面

内层线路模组

内外层通用

单机设备重量

5000kg

单机外形尺寸

3280mm×1700mm×2225mm

自动线外形尺寸

6380mm×3460mm×2455mm(不含收放板机)

工作高度(输送高度)

1030土20mm


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