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tsm-10l

产品优势

针对光伏量产应用百分百自主
研发,专利产品

产品优势

兼容210mm,182mm电池
片生产,配套自动线实现高产能

产品优势

高精密光学系统、光效高、稳定可靠

产品优势

高精密平台及运动控制技术实现
高精度、高可靠图形化要求

设备参数
产品特色 甄选最佳图形化技术、精细打造
最大基板尺寸 210mmx105mm
兼容基板尺寸 182mmx91mm
基板厚度 0.05mm-1mm
量产解析 15µm/15µm
线宽精度 ±10%
景深 ±200µm
对位精准度 寻边对位±50µm
生产效率 0.5s/pcs&70mj/cm²&210mmx105mm,连线:7200片/h

设备参数

产品特色

甄选最佳图形化技术、精细打造

最大基板尺寸

210mm×105mm

兼容基板尺寸

182mm×91mm

基板厚度

0.05mm~1mm

量产解析(l/s)

15μm/15μm

线宽精度

±10%

景深

±200μm

对位精准度

寻边对位±50μm

生产效率

0.5s/pcs&70mj/cm2&210mmx 105mm  连线:7200片/h

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