dss-凯发真人注册

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dss-03

产品优势

支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光
如:158/166/182/210整片及半片

产品优势

超高精度
线宽解析3um/3um

产品优势

支持有mark对位及寻边对位

产品优势

r&d利器
助力挑战世界纪录

设备参数
产品特色 单机全自动,分割曝光
最大基板尺寸 220mmx220mm
最小基板尺寸 156mmx156mm(含半片)
基板厚度 0-1mm
极限解析(l/s) 3µm/3µm
线宽精度 ±0.6µm
景深 ±15µm
对位精准度 寻边对位±40µm,mark点对位±3µm
生产效率 45pcs/h&70mj/cm²(210mmx105mm)
设备参数

产品特色

单机全自动,分割曝光

最大基板尺寸

220mm×220mm

最小基板尺寸

156mm×156mm(含半片)

基板厚度

0mm~1mm

极限解析(l/s)

3μm/3μm

线宽精度

±0.6μm

景深

±15μm

对位精准度

寻边对位±40μm,mark点对位±3μm

生产效率

45pcs/h&70mj/cm2(210×105mm)

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