dpr-凯发真人注册

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dpr-12

产品优势

精心打造高端fpc和ic引线框架量产凯发真人注册的解决方案

产品优势

上下交互双台面双拼作业
每个台面一次放2张板同时对准曝光

产品优势

卷对卷成熟系统,强大延伸功能设计,无缝曝光

设备参数
产品特色 高解析/卷对卷
最大基板尺寸 单列卷度520mm,双列卷宽250mm
最小基板尺寸 卷宽250mm
基板厚度 0.035mm~0.15mm
工艺解析l/s 12µm/12µm
线宽精度 ±10%
景深 ±100µm
层间对位精准度 12µm
外层对位准精度 ±6µm
曝光时间(50mj/cm²&每片四点对位,不含上下板) 27秒/面 @510mmx620mm
生产效率(50mj/cm²每片四点对位) 1.3米/分钟
光源功率 6w
单机台面数量 单台面
内层线路模组 不支持
单机设备重量 4000kg
单机外形尺寸 2940mmx1700mmx2195mm
自动线外形尺寸 6100mmx2100mmx2200m
工作高度(输送高度) 890±20mm
设备参数

产品特色

高解析/卷对卷

最大基板尺寸

单列卷度520mm   双列卷宽250mm

最小基板尺寸

卷宽250mm

基板厚度

0.035mm~0.15mm

工艺解析(l/s)

12μm/12μm

线宽精度

±10%

景深

±100μm

层间对位精准度

12μm

外层对位准精度

±6μm

曝光时间(50mj/cm2&每片四点对位,不含上下板)

27秒/面@510mm×620mm

生产效率(50mj/cm2&每片四点对位)

1.3米/分钟

光源功率

6w

单机台面数量

单台面

内层线路模组

不支持

单机设备重量

4000kg

单机外形尺寸

2940mm×1700mm×2195mm

自动线外形尺寸

6100mm×2100mm×2200m

工作高度(输送高度)

890±20mm


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